精密花岗岩平台(STAGE)及超精密自动化设备

超精密空气静压悬浮滑动构件

超精密空气静压悬浮滑动构件。搭配精密直线电机等自动化机电装置,能实现纳米级别的精准滑动及定位。


一轴式空气滑动组件(实例:行程600mm  水平/垂直方向直线运动精度±0.2μm)


XY轴空气滑动构件(实例:行程450mm 水平/垂直方向直线运动精度±0.3μm)

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