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超精密エアー浮上スライドブロック。精密リニアモーターを組み合わせする自動化機電装置、ナノメートル級のスライドと定位が可能
一軸式エアースライドブロック(実例:行程600mm 水平/垂直方向直线运动精度±0.2μm
XY轴エアースライドブロック(実例:行程450mm 水平/垂直方向直线运动精度±0.3μm)
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